Spin Motor产品特征：

高速电机结构：额定转速：5000rpm，最大转速6000rpm

超快的加速/减速时间：47750R/S²

低噪音、低震动、轴端跳动系数低

采用真空空心轴设计，轴端独特的设计，确保chunk运行平稳

采用水冷却系统设计:750/1000W

电机整体全不锈钢设计，符合半导体现场应用

轴端可以为客户进行定制化设计专用电机

中空伺服电机产品应用：

高速旋转和真空吸附

①法 兰： 90mm ~ 100mm flange

②速度范围： 5,000rpm ~ 8,000rpm，最大加速度：47750R/S²

③额定转矩： 1.91Nm ~ 2.50Nm（功率750W-1000KW）

④轴 定 制 ： 电机轴长度或者密封机构做定制

中空伺服电机Spin Motor应用特征：

1、6寸、8寸、 12寸半导体设备

2、涂胶、显影、清洗等制程

3、最大加速度可以达到47750R/S²瞬时加速

4、根据半导体行业特殊性，轴端 特别设计，确保轴端负载跳动系数

5、转速偏差1转