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高精度直线导轨，伺服电机驱动，光栅闭环反馈，高可靠性驱动机构，带断电抱闸功能，防止重物掉落，使用寿命长等产品特点。
采用楔形平升机构，直接移动负载，在一个长行程的移动范围，保持尽可能短的高度，优化了系统误差影响，有助于提高整体精度性能等结构特点，
适用于光源对准 / 晶圆检测等领域。
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